光譜儀又稱分光儀，廣泛為人知的為直讀光譜儀。以光電倍增管等光探測器測量譜線不同波長位置強度的裝置。它由一個入射狹縫，一個色散系統，一個成像系統和一個或多個出射狹縫組成。以色散元件將輻射源的電磁輻射分離出所需要的波長或波長區域，并在選定的波長上（或掃描某一波段）進行強度測定。分為單色儀和多色儀兩種。
樣品對光譜儀的影響及要求：
(1)全部試件表層應是勻稱的(其樣子尺寸合適激起臺，便于使汽體清洗室能密封性)。
(2)沒有沙孔。
(3)清除樣品后背的銹皮和油漬確保樣品和激起臺觸碰優良。
(4)樣品表層不必被環境污染，磨樣理應有紋理。
(5)樣品激起時激起點一般取坐落于樣品半經1／2處，該點有機化學成分較為勻稱，結果性，測量精確度高。
光譜分析結果的優劣，在于樣品，要留意樣品的制取和解決技術性。因為出氣孔縮松緣故沒有獲得整平的表層或樣品沒有置放好，及其實際操作不正確造成的出現偏差的原因，都是會給剖析品質導致很大影響。
